[19p-P01-1~4] 3.10 Photonic structures and phenomena

[19p-P01-3] High-precision selective dry etching of the core layer having embedded quantum dots layers towards CirD (Circular defect in 2D photonic crystal) laser

〇Hirotaka Muto¹, Ryo Kato¹, Hanqiao Ye¹, Rubing Zuo¹, Masato Morifuji¹, Hirotake Kajii¹, Tetsuya Yagi¹, Akihiro Maruta¹, Masahiko Kondow¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:

photonic crystal,CirD laser

QD層の範囲を共振器周辺に限定したCirDレーザの作製を目指している．本研究では，エッチングによって作製されたSiO₂ハードマスクを使用することで高精度選択ドライエッチングの実現を目指した．