[19p-P01-1~4] 3.10 フォトニック構造・現象

[19p-P01-3] CirDレーザの出力強化に向けた量子ドット埋め込みコア層の高精度選択ドライエッチング

〇武藤 広高¹、加藤 諒¹、葉 漢嶠¹、左 如氷¹、森藤 正人¹、梶井 博武¹、八木 哲哉¹、丸田 章博¹、近藤 正彦¹ (1.阪大院工)

キーワード：

フォトニック結晶、CirDレーザ

QD層の範囲を共振器周辺に限定したCirDレーザの作製を目指している．本研究では，エッチングによって作製されたSiO₂ハードマスクを使用することで高精度選択ドライエッチングの実現を目指した．