講演情報
[19p-P01-3]CirDレーザの出力強化に向けた量子ドット埋め込みコア層の高精度選択ドライエッチング
〇武藤 広高1、加藤 諒1、葉 漢嶠1、左 如氷1、森藤 正人1、梶井 博武1、八木 哲哉1、丸田 章博1、近藤 正彦1 (1.阪大院工)
キーワード：
フォトニック結晶、CirDレーザ
QD層の範囲を共振器周辺に限定したCirDレーザの作製を目指している．本研究では，エッチングによって作製されたSiO₂ハードマスクを使用することで高精度選択ドライエッチングの実現を目指した．
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