[19p-P02-1~13] 8.1 Plasma production and diagnostics

[19p-P02-10] Velocity distribution measurements of tungsten neutral particles

〇Tatsunobu Yoshitani¹, Heun Tae Lee¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:

Laser Induced Fluorescence,Tungsten,Thin film

プラズマ成膜により巨大なスピンホール効果を持つA-15構造のβ-W形成メカニズムは明らかになっていない。本研究では、プラズマ成膜におけるW中性粒子の速度分布が薄膜の構造に与える影響を明らかにすることが目的である。レーザー誘起蛍光法（LIF）を用いてW中性粒子の速度分布を計測し、Arガス圧力、ターゲット基板間距離を変化させたときの速度分布と成膜速度の関係を調べた。