[20a-A32-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

11:30 AM - 11:45 AM JST(2:30 AM - 2:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[20a-A32-10] Dependence of Confinement of Photoemission-assisted Plasma on its Initial Electrode Structure

〇(B)Haruhiro Naito¹, Hikaru Nishiyama¹, Takayuki Watanabe², Susumu Takabayashi¹ (1.NIT, Ariake College, 2.Tanabe Engineering)

Keywords:

photoemission-assisted plasma,plasma confinement

光電子制御プラズマは紫外光照射部位に限定されるため、放電電圧と電流密度を精密に評価できる。これまで我々は、光電子制御グロー放電(PAGD)領域の一定電圧下においてSi電極放電電流の圧力依存性を測定したところ、PAGDプラズマが紫外光照射範囲よりも集光し、かつ電流密度が著しく増大して閉じ込められることを見出した。今回は、本現象への石英カバーにより幾何学的に規制される初期電極面積の影響について調べた。