[20a-A32-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[20a-A32-10] 光電子制御プラズマの閉じ込めの初期電極構造依存性

〇(B)内藤 陽大¹、西山 輝¹、渡辺 貴之²、鷹林 将¹ (1.有明高専、2.田辺工業)

キーワード：

光電子制御プラズマ、プラズマ閉じ込め

光電子制御プラズマは紫外光照射部位に限定されるため、放電電圧と電流密度を精密に評価できる。これまで我々は、光電子制御グロー放電(PAGD)領域の一定電圧下においてSi電極放電電流の圧力依存性を測定したところ、PAGDプラズマが紫外光照射範囲よりも集光し、かつ電流密度が著しく増大して閉じ込められることを見出した。今回は、本現象への石英カバーにより幾何学的に規制される初期電極面積の影響について調べた。