[20a-A37-1~6] CS.3 Code-sharing Session of 3.4 & 3.13

9:00 AM - 9:15 AM JST(12:00 AM - 12:15 AM UTC)

[20a-A37-1] Investigation of output change on DUV light generation using CsLiB⁶O¹⁰ (Ⅱ)

〇Kyosuke Shimada¹, Takumi Hara¹, Kaho Yamamoto², Ryota Murai³, Tomoaki Nambu², Yoshinori Takahashi³, George Okada⁴, Shigeyoshi Usami¹, Masayuki Imanishi¹, Mihoko Maruyama¹, Yusuke Mori^1,3, Masashi Yoshimura^2,3 (1.Osaka Univ., 2.ILE, Osaka Univ., 3.SOSHO CHOKO Inc., 4.Spectronix Corp.)

Keywords:

nonlinear optical crystal,DUV light generation

CsLiB6O10（CLBO）結晶を用いた深紫外光源の高出力化に向けて，長期間使用した際に生じる紫外 光吸収の増加が課題の1つとなっている1)．加熱処理により内部水不純物を低減させたCLBOが再び 吸水すると, その後同じ加熱脱水過程を経ても出力が戻らないことを報告してきた2)．本研究ではこの 現象のメカニズム解明を目的として，同一インゴットから作製した2つのCLBO素子に異なる加熱処 理を施した際の深紫外光出力の経時変化を調査した．