[20a-P02-1~22] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics

[20a-P02-22] Development of automated fabrication equipment and automated evaluation system for surfaced-enhanced Raman scattering devices

〇(M2C)Yousuke Kasai¹, Masayuki Hashimoto¹, Ryota Negishi¹ (1.Toyo Univ. Graduate School)

Keywords:

SERS,Nano gap

ラマン散乱分光法はラベルフリーで標的分子を同定可能で、バイオセンサー応用に注目されている。微弱なラマン散乱光の検出には表面増強ラマン散乱(SERS)効果によるシグナル増強が必要で、ナノギャップの精密な制御が重要だ。本研究室は自己組織化分子多層膜でナノギャップを形成し、SERS素子として確認したが、手作業のため品質に課題がある。これに対し、SERS素子の自動作製装置と自動評価システムを開発した。