[20a-P05-1~3] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[20a-P05-1] Electrochemical Evaluation of Noble Metal Catalyzed Wet Si Etching

〇Sota Yoshihira¹ (1.Kansai Univ.)

Keywords:

semiconductor,MacEtch

これまで我々は金属支援エッチング(MacEtch)を用いてSi基板にTSV(Si貫通電極)用ホールの作製を試みてきた。一方で、MacEtchはエッチング液にHFを使用しているため、エッチング中の触媒の挙動や化学反応の様子を把握することが難しい。そこで、本研究では耐フッ酸用の電気化学セルを用いて、エッチング中の基板に対し様々な条件でCV測定を行うことでAu触媒を用いたSiのMacEtchの電気化学的評価を試みた。