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[20p-A32-6]Influence of Air-Impurity Concentration on High-Pressure Helium Plasma
Generated in a Closed Glass Cell

〇Koichi Kishimoto1, Minami Toyoda1, Koji Eriguchi1, Keiichiro Urabe1 (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

atmospheric pressure plasma,impurity,spectroscopic measurement

高気圧プラズマではppmレベルの低濃度不純物がプラズマ特性に影響を及ぼすことが知られている。本研究では、ガラスセルに封入した気体に雰囲気ガスを流入させることで,不純物種と濃度を制御する手法を試験した。高純度Heガスに空気不純物を導入した放電実験の結果から、空気濃度増加による放電特性や発光ピークの変化を解析し、この手法による不純物濃度制御の妥当性を確認した。

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