[20p-A32-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[20p-A32-6] 高気圧ヘリウムプラズマにおけるガラスセルを用いた空気不純物濃度制御と放電状態遷移に関する研究

〇岸本 航一¹、豊田 みなみ¹、江利口 浩二¹、占部 継一郎¹ (1.京大院工)

キーワード：

大気圧プラズマ、不純物、分光計測

高気圧プラズマではppmレベルの低濃度不純物がプラズマ特性に影響を及ぼすことが知られている。本研究では、ガラスセルに封入した気体に雰囲気ガスを流入させることで，不純物種と濃度を制御する手法を試験した。高純度Heガスに空気不純物を導入した放電実験の結果から、空気濃度増加による放電特性や発光ピークの変化を解析し、この手法による不純物濃度制御の妥当性を確認した。