[20p-A34-1~12] 3.8 Terahertz technologies

3:45 PM - 4:00 PM JST(6:45 AM - 7:00 AM UTC)

[20p-A34-8] Development of THz wave phase control and anti-reflection devices by laser processing

〇(M2)Haruto Miura¹, Verdad Agulto², Shiyu Feng², Kosaku Kato², Makoto Nakajima², Shingo Ono¹ (1.Nagoya Institute of Technology, 2.Institute of Laser Engineering, Osaka University)

Keywords:

terahertz,Laser processing

テラヘルツ（THz）波工学は、近年の技術革新により注目を集めている。しかし、THz波発生・検出素子、レンズなどの光学材料には酸化亜鉛(ZnO)やシリコン(Si)などの高屈折率半導体が用いられ、これらの材料界面でのTHz波の大きな反射損失が問題となっている。そこで我々は超短パルスレーザー加工によりZnO基板表面に反射防止構造であるモスアイ構造の作製を行った。さらにこの微細構造を用いて偏光制御を行ったので、これらについて報告する。