[20p-A34-1~12] 3.8 テラヘルツ全般

15:45 〜 16:00

[20p-A34-8] レーザー加工によるTHz波位相制御及び反射防止デバイスの開発

〇(M2)三浦 悠杜¹、Agulto Verdad²、馮 時雨²、加藤 康作²、中嶋 誠²、小野 晋吾¹ (1.名工大工、2.阪大レーザー研)

キーワード：

テラヘルツ、レーザープロセシング

テラヘルツ（THz）波工学は、近年の技術革新により注目を集めている。しかし、THz波発生・検出素子、レンズなどの光学材料には酸化亜鉛(ZnO)やシリコン(Si)などの高屈折率半導体が用いられ、これらの材料界面でのTHz波の大きな反射損失が問題となっている。そこで我々は超短パルスレーザー加工によりZnO基板表面に反射防止構造であるモスアイ構造の作製を行った。さらにこの微細構造を用いて偏光制御を行ったので、これらについて報告する。