[20p-D61-1~14] 10.1 Emerging materials in spintronics and magnetics (including fabrication and characterization methodologies)

2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)

[20p-D61-7] Ferromagntic manganese silicide nanoparticles formed by ion implantation in silicon

〇Rento Ohsugi¹, Makoto Kawano¹, Yuuki Wakabayashi¹, Yoshiharu Krockenberger¹, Hisashi Sumikura¹, Jinichirou Noborisaka¹, Katsuhiko Nishiguchi¹ (1.NTTBRL)

Keywords:

Silicide,Nanoparticle,Magnetism

シリコン(Si)中磁性ナノ粒子のデバイス応用を目指し、イオン注入という既存のSiトランジスタ作製技術によるマンガン(Mn)シリサイド磁性ナノ粒子の形成とその特性制御法を調べた。具体的には、Si基板にMnを注入する際のイオン注入エネルギーを制御することでMnシリサイド粒径と、それに関連する磁性が変化することがわかった。この発見はSiデバイスと親和性のある磁性ナノ粒子デバイスの開発につながる。