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[22a-12G-7]Diagnostics of Electron Sheath on a Metal Plate in a Low-Pressure Plasma Using Laser-Induced Fluorescence Spectroscopy

〇Yuki Noda1, Ryosuke Takahashi2, Koji Eriguchi2, Keiichiro Urabe2 (1.Kyoto Univ., 2.Kyoto_Univ.)

Keywords:

plasma diagnostics,laser-induced fluorescence spectroscopy,electron sheath

プラズマ中にある金属表面がプラズマ電位より高い場合に形成される電子シースは,プローブ計測や電子源など工学的に活用されている.一方で,実験室における電子シース形成時には,イオンシース形成時と比較して実験条件に制限があることが知られている.本発表では,低圧プラズマにおける電子シース形成現象の解析に必要な実験手法確立を目的として,レーザー誘起蛍光(LIF)法を用いたシース計測実験の結果を報告する.