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[22a-P02-29]Structure optimization of stretchable acceleration sensor and characteristics evaluation

〇Yasuyuki Miura1, Shoma Kamanoi1, Tomohito Sekine1,2,3, Santos Fabrice Domingues Dos4, Huang Tong5, Atsushi Miyabo5, Shizuo Tokito1,2,3 (1.Fac. of Engineering, Yamagata Univ., 2.Grad. School of Organic Materials Science, Yamagata Univ., 3.Yamagata Univ. ROEL., 4.Piezotech., 5.ARKEMA K. K.)

Keywords:

stretchable sensor,acceleration sensor,printed electronics

近年、ソフトロボットセンシングデバイス(E-skin)の開発が注目されている。これに対し我々はストレッチャブル加速度センサを用いて、デバイス伸縮時の動的応力変化の電圧信号検出を可能にした。一方、センサの構造に注目すると、感圧層の膜厚が発生電圧に与える影響については不明な点が多い。そこで本研究では、感圧層の膜厚最適化によるストレッチャブル加速度センサの特性向上を行い、その電気的特性を明らかにしたので報告する。