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[22p-12C-13]Loss Evaluation of Coplanar Waveguide Resonators on MgO Substrate

〇(DC)Kohki Watanabe1, Hiroki Kutsuma1,2, Sunmi Kim3, Taro Yamashita1 (1.Tohoku Univ., 2.JST PRESTO, 3.NICT)

Keywords:

coplanar waveguide resonator

コプレーナ線路共振器は,周波数多重化に適した106程度の高いQ値が得られることから,超伝導量子ビットの読み出しに利用されている.量子ビットの読み出しに使用される共振器は,Siやサファイア基板上に作製されることが多く,MgO基板上の共振器について系統的な評価はされていない.本研究では,MgO基板上に作製された共振器の損失評価を目的に,共振器特性の温度依存性,読み出し電力依存性等の測定を行った.