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[23a-12H-6]Polarization inversion characteristic of Bragg reflector type resonator using epitaxial PbTiO3 thin film

〇(M1)Wataru Shimoyama1,2, Yohkoh Shimano1,2, Sota Kuninobu1,2, Takahiko Yanagitani1,2,3,4 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST)

Keywords:

PbTiO3,SMR,metal bonding

SMRの圧電層にエピタキシャルPTO薄膜を用いることで、高い圧電性を持ち、より放熱性や耐電力性に優れた共振子が得られると考える。そこで本研究では、エピタキシャルPTO薄膜を圧電層に用いたSMRおよびその圧電特性と分極反転特性を報告する。