Presentation Information
[23a-61A-5]Laser deposition process for highly functional energy harvesting devices
〇Ryota Takahashi1 (1.Nihon University)
Keywords:
energy harvesting,ferroelectric materials,solar cells
レーザー蒸着プロセスでは、レーザーで真空中に設置した原料をアブレーションし、基板上に蒸着する薄膜堆積手法の1つである。より高い合成温度で薄膜を堆積することにより、結晶内部の欠陥や不純物層を低減し、バルク単結晶レベルまで薄膜の結晶性を近づけることを可能にしており、環境発電デバイスの機能を向上させる手がかりになっている。発表者はこのレーザー蒸着プロセスによって、圧電体、太陽電池、水分解光電極などの環境発電デバイスの作製に取り組んできており、本発表では主にBaTiO3の単結晶薄膜を自立化する薄膜プロセスとハライドペロブスカイト薄膜の赤外線レーザー蒸着について紹介する。これら2つの薄膜プロセスをさらに発展させると、無機系材料と有機系材料のヘテロ構造の作製へ展開することも可能であり、環境発電デバイスのさらなる機能向上も期待される。