Presentation Information
[23p-71A-2]Nanoparticle growth in reactive plasmas: growth control and application
〇Shota Nunomura1, Masaharu Shiratani2 (1.AIST, 2.Kyushu Univ.)
Keywords:
plasma,nanoparticle
プラズマ反応場を用いるナノ粒子生成は、比較的低温（室温から数百度）のガス雰囲気で、組成や構造、サイズが制御されたナノ粒子を合成できる特徴を有する。例えば、量子ドット太陽電池や発光デバイス用途のシリコンナノ粒子、low-k絶縁膜用途の絶縁体粒子、触媒用途の金属系粒子、リチウムイオン電池用途の合金系粒子などが合成可能である。通常、これらナノ粒子の合成では、適切な原料ガスを選び、プラズマ状態を制御することで、所望の組成や物性を有するナノ粒子を合成する。講演では、このプラズマ反応場における各種反応、ナノ粒子の成長とダイナミクスに関する概要を紹介する。また、プラズマ合成ナノ粒子を用いる最近の応用や広がりも紹介する。