Presentation Information
[24a-12E-5]Simultaneous detection of foreign substance and composition using Grazing Exit X-ray.
〇Takeo Tsukamoto1, Atsuhiro Kuwajima2 (1.Sanjocity Univ., 2.CANON ANELVA)
Keywords:
X-ray
線源として透過型X線源（Wターゲット）を使用し、シート状に含まれる金属異物を高倍率で観察可能な撮影系とすることで20ミクロン程度の大きさの異物を容易に捉えることができるだけでなく、同時に、その異物の組成を取得できる基本原理を提案する。組成の同定方法は、XRFと呼ばれる手法と基本的に同じであるが、異物から放射される蛍光X線のgrazing-exitによる全反射成分を有効に捉える手法を用いることで、母材からのバックグラウンド影響をほとんど受けず、異物の組成ピークが得られ、撮影と組成同定が同時に行える計測方法が特徴である。