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[24p-11F-10]Four-color-sorting metalenses for high-sensitivity RGB-NIR image sensors: experimental demonstration

〇Masashi Miyata1, Toshikazu Hashimoto1 (1.NTT Device Technology Labs.)

Keywords:

optical metasurface,metalens,image sensor

近年,可視光3色(RGB)と近赤外光(NIR)を同時取得するRGB-NIRイメージセンサが研究開発されている.しかしそのセンサの多くは,4色の吸収型フィルタを画素上にそれぞれ集積した構成であり,受光感度に制約がある.この制約を打破するため,前回我々はR・G・B・NIRの4色を画素上で分類する透過型メタレンズを設計し,そのセンサ集積時の感度向上効果を計算により示した.今回,メタレンズを作製し実験により評価したので報告する.