Presentation Information
[24p-1BB-13]Flip-pick-and-place transfer printing integration of a quantum sensor based on diamond nanobeam
〇Ryota Katsumi1,2, Kosuke Takada1, Takeshi Hizawa1, Shun Naruse1, Kenta Kawai1, Daichi Sato1, Takashi Yatsui1,2 (1.TUT, 2.UT)
Keywords:
diamond,Flip-pick-and-place transfer printing,Nano structure
ダイヤモンド中の窒素－空孔(NV)センターを利用する量子センサーは、高感度な磁気検出が室温で可能なことが理論上期待されている。さらなる高感度化やコンパクト化といった機能性を拡充する上で、ダイヤモンドの微細加工が重要であるが、微細加工技術の未成熟さにより低伝搬損かつ高品質な光素子の作製は難しい。そこで、ダイヤモンドナノ構造を他の最先端集積フォトニクス上へハイブリッド集積することが望ましい。ところが、現在報告されている単結晶ダイヤモンドの加工方法では、ナノ構造底面の平坦性を担保できず、任意のナノ構造に対して同ハイブリッド集積の実施は困難であった。そこで本研究では、ナノ構造の反転操作を組み合わせた新しい転写プリント集積技術の開発により、ダイヤモンドナノ量子センサーの自在かつ高い歩留まりでのハイブリッド集積に成功したので報告する。