Presentation Information
[25a-12H-3]Nanodiamond-based temperature monitoring under plasma-jet irradiation
〇(D)Keisuke Oshimi1, Masazumi Fujiwara1 (1.Okayama Univ.)
Keywords:
NV center,Temperature measurement,Plasma
今回我々は蛍光ナノダイヤモンド（ND）を用いれば、プラズマ処理中の表面温度を安定かつ高精度に温度計測できるのではないかと考え、実験を行った。ガラス表面に蛍光NDを塗布することで、プラズマジェット照射下におけるガラス最表面の温度を測定した。Arプラズマ照射のON/OFFに伴って蛍光ND温度計の指示値が上昇と下降の繰り返すことをリアルタイムで確認した。講演では実験の詳細や詳しいデータについて説明する。