[7a-N307-1~11] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

11:30 AM - 11:45 AM JST(2:30 AM - 2:45 AM UTC)

[7a-N307-10] Distributed Feedback Laser with A Concentric Quadrant Grating Fabricated on An Organic Crystal by Electron Beam Lithography

〇Sofu Tai¹, Yuhi Inada¹, Takeshi Yamao¹ (1.Kyoto Inst. Technol.)

Keywords:

Distributed Feedback Lasers,organic single crystal

当研究室では以前、集束イオンビーム (FIB)で有機結晶表面に同心四分円回折格子を掘削した分布帰還 (DFB) 型構造を構築し、光励起レーザー発振とその角度依存発振波長の変化について報告した。そこで使用したFIB装置は描画領域を4096点×4096点に分割し、その個々の点にイオンビームを照射しながら描画するので、約200 µm四方に図形を描画する場合、描画の間隔が約50 nmに制限される。そのため特に滑らかな曲線の形成が困難であり、同心四分円回折格子の円弧部の再現性が低く、周期に不均一が発生した。本研究では、電子線リソグラフィ (EBL) による、より高精度な同心四分円回折格子の作製を試みた。