[7p-N322-1~14] CS.2 Code-sharing session of 3.2&4.4

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[7p-N322-4] Light direction field mapping with single pixel

〇Shotaro Oka¹, Kenta Takanashi¹, Hiroshi Ohno¹ (1.Toshiba Corp.)

Keywords:

BRDF,single pixel,spectrometer

様々な製造工程の外観検査において、特に数μm以下の微小形状は、画像コントラストが小さくなるため識別が難しい。一方で、微小欠陥によって光線方向場（BRDF）が大きく変動することが知られており、その波長依存性にも微小欠陥の特徴が現れると考えられる。そこで、筆者らは、全視野内でBRDFの角度分布と波長依存性を同時にマッピングできる手法を開発した。本手法は、様々な製造工程の外観検査に有効であると考えられる。