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[7p-N322-5]Light-direction field imaging using digitally scanned beams

〇Hiroshi Ohno1, Kenta Takanashi1, Shotaro Oka1 (1.Toshiba Corp.)

Keywords:

Digital Micromirror Device,Bidirectional Reflectance Distribution Function,Fourier Plane

さまざまな製品の外観検査は重要であり,その自動化によって製造効率を向上させることへの需要が高まっているが、製品表面の微小欠陥は従来のカメラで鮮明化しにくい。一方,微小欠陥からの反射光の方向分布は,一般的に,標準面のものと僅かに異なる。そこで,デジタル制御で走査可能なスポット照明からの反射光をフーリエ面に投映することにより,光線方向の角度分布の詳細を広い視野で撮像する手法を提案する。