Presentation Information
[8a-N307-6]Patterning of PDMS nanofilms on substrates by UV lithography
〇Hajime Okamoto1, Riku Takahashi1,2, Azusa Oshima1,2, Satoshi Sasaki1 (1.NTT BRL, 2.NTT BMC)
Keywords:
PDMS,film,lithography
透明で柔軟なPDMSはマイクロ流体デバイスやソフトエレクトロニクスなど幅広く利用されており、近年ではPDMS超薄膜へのニーズが高まっているが、粘度の高い前駆体溶液を用いることから100 nm未満のナノ薄膜を形成するのは容易ではない。我々は光硬化型PDMSに対してマスクレス露光描画装置を用いた紫外線リソフラフィを行うことにより、数nm～数十nm厚のPDMSナノ薄膜を基板上にパタン形成することに成功した。