Presentation Information
[8p-P09-1]Influence of Sm doping amount on local structure of BiFeO3 thin films Ⅱ
〇(M2)Marika Kawakami1, Seiji Nakashima1, Kaima Okazaki1, Koji Kimura2, Naohisa Happo3, Ryotaro Aso4, Hiroo Tajiri5, Ai I. Osaka1, Koichi Hayashi2, Hironori Fujisawa1 (1.Univ. of Hyogo, 2.NI Tech., 3.Hiroshima City Univ., 4.Kyusyu Univ., 5.JASRI)
Keywords:
BiFeO3,piezoelectricity,local structure
SmドープBiFeO3(BSFO)はドープ量14 at%付近で組成相境界(MPB：Morphotropic phase boundary)が存在し、高い圧電性を示すことが知られている。このときMPBにおいて菱面体晶系から直方晶系へ相転移することが知られているが、その構造は複数の報告がある。特に薄膜では結晶構造の同定が困難であることから、不明な点が多く、中でも圧電デバイス応用に重要な膜厚1 µm程度における報告はほとんどない。そこで本研究では、X線逆格子空間マッピング(XRD-RSM)、蛍光X線ホログラフィー(XFH : X-ray Fluorescence Holography)および走査型透過電子顕微鏡(STEM)を用いて、Smドープ量の異なる膜厚800 nm～1000 nm のエピタキシャルBSFO薄膜の詳細な結晶構造とその対称性の観察を試みた。