Presentation Information
[9p-P03-2]High-speed 3D tomographic measurement by symmetric comb interval sweep of broadband optical comb
〇Sota Miura1, Samuel Choi1 (1.Niigata Univ.)
Keywords:
interferometry,optical frequency comb,fringe analysis
本研究では，広帯域マルチギガヘルツコムを用いた対称的なコム間隔掃引による干渉計測法にフーリエ変換法を導入した3次元断層形状復元を試みた．実験では，膜厚約150µmのガラス板に測定を行い断層分布を得た．位相定在の干渉縞を活用したフーリエ変換法による位相復元を実施することで，撮像枚数を節約した高速な３次元断層形状計測が可能であることを確認した．