[10a-A22-1~13] 3.6 Laser processing

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)

[10a-A22-7] Prediction of LIPSS formation from diffraction and scattering spectra using deep learning

〇Shunya Iga¹, Yoshio Hayasaki¹, Satoshi Hasegawa¹ (1.Utsunomiya Univ.)

Keywords:

Laser processing,Nano-periodic structures,Deep learning

フェムト秒レーザーで形成されるLIPSSは，周期や配向，表面粗さに応じて回折・散乱光特性が変化する。本研究では，LIPSSから得られる回折・散乱光スペクトル画像と加工条件を用い，CGANにより形成状態を反映した表面構造画像を推定する。これにより，SEMに依存しない高速・非接触なLIPSS評価を目指す。