講演情報
[10a-A22-7]回折・散乱スペクトルに基づく深層学習を用いたLIPSSの形成推定
〇伊賀 駿耶1、早崎 芳夫1、長谷川 智士1 (1.宇都宮大)
キーワード：
レーザー加工、ナノ周期構造、深層学習
フェムト秒レーザーで形成されるLIPSSは，周期や配向，表面粗さに応じて回折・散乱光特性が変化する。本研究では，LIPSSから得られる回折・散乱光スペクトル画像と加工条件を用い，CGANにより形成状態を反映した表面構造画像を推定する。これにより，SEMに依存しない高速・非接触なLIPSS評価を目指す。