Presentation Information
[10a-B21-5]Proposal of Thin-Film ScAlN Thermoacoustic Phase Modulator for Broadband Surface Acoustic Wave Physical Reservoir Computing
〇(M2)Kotaro Nose1, Taiki Ijima1, Masaki Shimofuri1, Jun Hirotani1, Toshiyuki Tsuchiya1 (1.Kyoto Univ.)
Keywords:
physical reservoir computing,surface acoustic wave,SAW
表面弾性波物理リザバーの高速化に向け,ScAlN薄膜を用いた熱音響型位相変調器を提案する。有限要素法を用いた熱伝導解析により算出した導波路の位相変調応答を数値解析に組み込み,NARMA2タスクにより性能を評価した。仮想ノード間隔θが100 nsの時, LiNbO3変調器の数値解析結果では正規化平均二乗誤差が0.93であったが,提案した薄膜構造では0.52となった。
