[10a-C212-1~8] 3.13 Silicon photonics, Photonics-electronics convergence, Optical control

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10a-C212-3] Si/TFLN hybrid modulator based on transfer of fully pre-fabricated coupons

〇Toshiya Murai¹, Rai Kou¹, Yohei Yamashita², Masahiko Imai², Kazumasa Takabayasahi², Kohei Meisaishi², Shuntaro Makino², Noritsugu Yamamoto¹ (1.AIST, 2.Furukawa FITEL Optical Components Co., Ltd.)

Keywords:

silicon photonics,thin-film lithium niobate,optical modulator

本講演では, RF電極およびSiO₂クラッドを事前形成したTFLNクーポンをSiフォトニクス回路上へµ-Transfer Printing集積し, 転写後プロセス不要なSi/TFLNハイブリッドMach-Zehnder変調器を実証した結果を報告する。VπL = 2.0 V·cmおよび67 GHz以上のEO帯域が得られ, BEOL互換集積の有用性を示した。