[10a-C212-1~8] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[10a-C212-3] 電極一体型クーポン転写によるSi/TFLNハイブリッド光変調器

〇村井 俊哉¹、高 磊¹、山下 洋平²、今井 雅彦²、高林 和雅²、明才地 康平²、牧野 俊太郎²、山本 宗継¹ (1.産総研、2.古河ファイテルオプティカルコンポーネンツ)

キーワード：

シリコンフォトニクス、薄膜ニオブ酸リチウム、光変調器

本講演では, RF電極およびSiO₂クラッドを事前形成したTFLNクーポンをSiフォトニクス回路上へµ-Transfer Printing集積し, 転写後プロセス不要なSi/TFLNハイブリッドMach-Zehnder変調器を実証した結果を報告する。VπL = 2.0 V·cmおよび67 GHz以上のEO帯域が得られ, BEOL互換集積の有用性を示した。