Presentation Information
[10a-C310-11]Orientation control of pseudobrookite-type oxide epitaxial thin films
〇(M2)Kaito Noguchi1, Taiki Akikusa1, Daichi Oka1, Yasushi Hirose1 (1.Tokyo Metropolitan Univ.)
Keywords:
epitaxial growth,pseudobrookite,Ti3O5
λ-Ti3O5薄膜は次世代デバイスへの応用が期待されるが、従来の(100)配向膜では基板拘束によりβ相への構造相転移が抑制される課題があった。本研究では、相転移に伴う格子変化が大きいc軸を基板拘束から解放するため、(001)配向に着目した。λ-Ti3O5 の配向制御に有効なシード層である擬ブルッカイト型酸化物 MgTi2O5における(001)配向薄膜の合成に成功したので報告する。
