[10a-C310-1~14] CS.9 6.3 酸化物エレクトロニクス、6.4 薄膜新材料のコードシェアセッション

11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[10a-C310-11] 擬ブルッカイト型酸化物エピタキシャル薄膜の配向制御

〇(M2)野口 快人¹、秋草 大毅¹、岡 大地¹、廣瀬 靖¹ (1.都立大院理)

キーワード：

エピタキシャル成長、擬ブルッカイト、Ti3O5

λ-Ti3O5薄膜は次世代デバイスへの応用が期待されるが、従来の(100)配向膜では基板拘束によりβ相への構造相転移が抑制される課題があった。本研究では、相転移に伴う格子変化が大きいc軸を基板拘束から解放するため、(001)配向に着目した。λ-Ti3O5 の配向制御に有効なシード層である擬ブルッカイト型酸化物 MgTi2O5における(001)配向薄膜の合成に成功したので報告する。