Presentation Information
[10a-E202-1]Evaluation of MgSe layer thickness in MgSe/ZnCdSe superlattices
〇Eisuke Mogi1, Ichirou Nomura1 (1.Sophia Univ.)
Keywords:
II-VI compound semiconductor
デバイス応用に不可欠なMgSe層厚の制御性向上を目的とし、MBE法によりInP基板上にMgSe/ZnCdSe超格子を作製した。SEMを用いた評価により、MgSeの成長時間と層厚間に良好な線形性を確認し、成長レートを0.0187 nm/sと見積もった。またXRDを用いた評価により、2分子層程度の極薄膜でもサテライトピークを観測しており、本手法による優れたMgSe層厚評価および制御性を実証したので報告する。