Presentation Information
[10a-N102-8]Simplified Evaluation of Particle Arrival Characteristics in ALD Chamber Design
〇Akihiko Inada1, Kanomata Kensaku1, Sato Eiji1 (1.Creative Coatings Co., Ltd.)
Keywords:
ALD Particle Transport Analysis
本研究では，ALDチャンバー設計の初期検討を目的として，前駆体およびラジカルを対象とした2次元モンテカルロ粒子追跡モデルを構築し，粒子到達傾向を解析した。壁面反射に加え，吸着，表面再結合および時間失活など，粒子種別の損失過程を考慮し，供給位置および基板条件をパラメータとして，基板上下面への到達量分布と粒子収支を比較した。粒子到達性と粒子利用効率の関係を評価し，本手法の設計初期段階への適用を検討した。