[10a-PA4-1~26] 6.2 Carbon-based thin films

[10a-PA4-7] Potassium Doping to Amorphous Carbon Thin Films Using Inductively Coupled Plasma (ICP)

〇(M2)Shotaro Goshima¹, Masaaki Ymazato¹, Akira Higa¹ (1.Univ. of the Ryukyus)

Keywords:

amorphous carbon,potassium doping

水素化アモルファスカーボン（a-C:H）薄膜では、不純物ドーピングによる電気的・光学的特性制御が検討されている。本研究では、新規n型ドーパント候補としてカリウム（K）に着目し、グルコン酸カリウムを誘導結合プラズマ（ICP）により活性化してa-C:H薄膜へのK導入を試みた。処理後の評価により、ICP処理時間の増加に伴うE_Tauc gapの減少傾向と、電気抵抗率の低下が確認された。