講演情報
[10a-PA4-7]誘導結合プラズマ(ICP)を用いたアモルファスカーボン薄膜へのカリウムドーピング
〇(M2)五島 昇太郎1、山里 将朗1、比嘉 晃1 (1.琉球大工)
キーワード：
非晶質カーボン、カリウムドーピング
水素化アモルファスカーボン（a-C:H）薄膜では、不純物ドーピングによる電気的・光学的特性制御が検討されている。本研究では、新規n型ドーパント候補としてカリウム（K）に着目し、グルコン酸カリウムを誘導結合プラズマ（ICP）により活性化してa-C:H薄膜へのK導入を試みた。処理後の評価により、ICP処理時間の増加に伴うETauc gapの減少傾向と、電気抵抗率の低下が確認された。