Presentation Information
[10a-PA5-7]Low-temperature Deposition of ZnSe Thin Film via Reactive Sputtering with Se Plasma
〇Kudo Haruki1, Suzuki Issei1, Takahashi Haruka1, Omata Takahisa1 (1.Tohoku Univ.)
Keywords:
Reactive sputtering,Selenide
セレン化物は化合物太陽電池に用いられる主要な材料系のひとつであるが、高品質な薄膜を得るには高温処理が必要であり、より低温の成膜プロセスが求められる。本研究では、プラズマ化したセレン（Seプラズマ）と金属ターゲットを用いた反応性スパッタリングが、セレン化物の低温での成膜に有効であるかを明らかにするため、同手法により二元系の典型的なセレン化物であるZnSe薄膜の成膜を試みた。