講演情報
[10a-PA5-7]Seプラズマを用いた反応性スパッタリングによるZnSe薄膜の低温成膜
〇工藤 温紀1、鈴木 一誓1、高橋 遼1、小俣 孝久1 (1.東北大)
キーワード：
反応性スパッタリング、セレン化物
セレン化物は化合物太陽電池に用いられる主要な材料系のひとつであるが、高品質な薄膜を得るには高温処理が必要であり、より低温の成膜プロセスが求められる。本研究では、プラズマ化したセレン（Seプラズマ）と金属ターゲットを用いた反応性スパッタリングが、セレン化物の低温での成膜に有効であるかを明らかにするため、同手法により二元系の典型的なセレン化物であるZnSe薄膜の成膜を試みた。