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[10a-PB6-3]Efficiency Limiting Factors of TOPCon Solar Cells Fabricated via Explosive- and Toxic-Gas-Free Process

〇Haruto Mizochi1, Shasha Li1, Koki Omori1, Shinsuke Miyajima1 (1.Science Tokyo)

Keywords:

Si,PV,TOPCon

TOPCon型太陽電池は, 現在主流の高効率Si太陽電池である. しかし, 従来の製造工程では爆発性・毒性ガスを用いるため, 除害設備や安全対策のコストが課題となる. そこで, 我々はFTSによる製膜とSODによるドーピング技術を組み合わせたプロセスにより, TOPCon太陽電池プリカーサの作製と評価を行ってきた. プリカーサにおいて良好な特性が得られたため, 太陽電池の試作を行い, 現段階での効率制限要素の検討を行った.