講演情報
[10a-PB6-3]爆発性・毒性ガスフリープロセスによる TOPCon型太陽電池の効率制限要素の検討
〇溝内 大翔1、Li Shasha1、大森 康生1、宮島 晋介1 (1.科学大工)
キーワード：
シリコン、太陽電池、TOPCon
TOPCon型太陽電池は, 現在主流の高効率Si太陽電池である. しかし, 従来の製造工程では爆発性・毒性ガスを用いるため, 除害設備や安全対策のコストが課題となる. そこで, 我々はFTSによる製膜とSODによるドーピング技術を組み合わせたプロセスにより, TOPCon太陽電池プリカーサの作製と評価を行ってきた. プリカーサにおいて良好な特性が得られたため, 太陽電池の試作を行い, 現段階での効率制限要素の検討を行った.