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[10p-A24-2]Superconducting Circuit Integration at the MXC Stage Enabled by a Low-Jc Nb Multilayer Wiring Process and Automated Parameter/Operating-Point Optimization

〇Daisuke Saida1, Shoichi Suda1, Masako Kataoka1, Takafumi Kojima1, Kenjiro Hayashi1, Kazumasa Makise2, Sho Masui2, Sho Matsuoka3, Shen Hongxian3, Yuki Yamanashi3 (1.Fujitsu Quantum Lab., 2.NAOJ, 3.YNU)

Keywords:

superconducting,Multilayer Wiring Process,quantum computer

超伝導量子コンピュータの大規模化に向け,MXCステージで動作する低消費電力周辺回路の実現が求められている.本研究では,多数回路作製時の特性ばらつきを抑制し,再現性向上を念頭においた低Jc Nb多層配線プロセスを開発した.さらに,プロセス変動下でも所望の回路特性を実現するため,遺伝的アルゴリズムにより設計パラメータと動作条件を協調最適化し,性能補償可能な手法を構築した.