講演情報
[10p-A24-2]超伝導回路のMXCステージ実装に向けた低Jc Nb多層配線プロセスとパラメーター／動作点の自動最適化
〇才田 大輔1、須田 章一1、片岡 真紗子1、小嶋 崇文1、林 賢二郎1、牧瀬 圭正2、増井 翔2、松岡 昇3、沈 泓翔3、山梨 裕希3 (1.富士通量子研、2.天文台、3.横国大)
キーワード：
超伝導、多層配線プロセス、量子コンピューター
超伝導量子コンピュータの大規模化に向け，MXCステージで動作する低消費電力周辺回路の実現が求められている．本研究では，多数回路作製時の特性ばらつきを抑制し，再現性向上を念頭においた低Jc Nb多層配線プロセスを開発した．さらに，プロセス変動下でも所望の回路特性を実現するため，遺伝的アルゴリズムにより設計パラメータと動作条件を協調最適化し，性能補償可能な手法を構築した．