Presentation Information
[10p-E217-4]Pd-Cu-Si Thin Film for Highly Sensitive and Low-Hysteresis Hydrogen Sensing
〇Yuki Takasaka1, Hattori Eisuke1, Takashi Ikuta1, Takahisa Tanaka1 (1.Keio Univ.)
Keywords:
gas sensor,metallic glass
本研究では、水素吸入時の相転移を抑制し低ヒステリシス化を図るため、アモルファスPd-Cu-Si薄膜を用いたケミレジスタ型水素センサを作製・評価した。従来、水素センサに用いられてきたPdと比較して、約3倍のセンサ応答と約4割の回復時間短縮を実現した。X線回折(XRD)によりアモルファス構造を確認しており、相転移の抑制が高感度・高速応答化に寄与したと考えられる。
