講演情報
[10p-E217-4]Pd-Cu-Si薄膜による高感度かつ低ヒステリシスな水素センシングの実現
〇高坂 勇樹1、服部 瑛介1、生田 昂1、田中 貴久1 (1.慶大理工)
キーワード：
ガスセンサ、金属ガラス
本研究では、水素吸入時の相転移を抑制し低ヒステリシス化を図るため、アモルファスPd-Cu-Si薄膜を用いたケミレジスタ型水素センサを作製・評価した。従来、水素センサに用いられてきたPdと比較して、約3倍のセンサ応答と約4割の回復時間短縮を実現した。X線回折（XRD）によりアモルファス構造を確認しており、相転移の抑制が高感度・高速応答化に寄与したと考えられる。