[10p-E310-1~11] Low-Temperature Plasma Technologies Enabling the Future of Semiconductor Manufacturing

4:50 PM - 5:20 PM JST(7:50 AM - 8:20 AM UTC)

[10p-E310-9] Process Informatics in Semiconductor Manufacturing

〇Hironori Moki¹ (1.Tokyo Electron)

Keywords:

Semiconductor,Process Informatics

半導体分野においては、半導体デバイス構造の微細化と複雑化が急速に進んでおり、これに伴ってウェーハ表面を加工するプロセスもますます複雑化しています。近年のAI技術の発展は目覚ましく、生成AIのように我々の生活の中でも当たり前のように活用されるようになってきました。本講演では、半導体製造プロセスにおけるAI技術の適用に焦点を当て、プロセスインフォマティクスの適用事例を紹介します。