[10p-E311-1~13] 7.2 Applications and technologies of electron beams

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10p-E311-10] Aberration Characteristics of a Tilted Facet Electron-Emitter Gun by Boundary Charge Method

〇Kanta Shimozono¹, Yasunari Sohda¹, Hidekazu Murata² (1.Tsukuba Univ., 2.Meijo Univ.)

Keywords:

aberration,emitter,aberration coefficient

名城大学の村田英一教授が考案した境界電荷法を用いて、ファセット電子源が光軸に対し傾斜角をもった電子銃での電子軌道を計算し、最適化により球面収差やコマ収差、非点収差などの収差係数を算出した。特に、球面収差についてはレンズ領域が2箇所あると仮定して各々の収差係数を決定した。また、先行研究の対象であった球面電子源に対しても同様の手法を用いて収差係数を決定した。